加工作为半导体前过程的核心过程的干法蚀刻和CVD的主要产品介绍干法蚀刻和CVD过程的相关零件
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有关干法蚀刻的零件
上部电极,底部电极及双壁
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有关CVD过程的零件
过程室,腔室外罩,喷头
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有关干法蚀刻的零件
上部电极,底部电极及双壁
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设备名称 | 设备类型 | 型号名 | 制造商 | 规格 | 备注 |
---|---|---|---|---|---|
10号MCT | 水平 | KV-90 | SANKO | 1100X1500X1600 | |
9号MCT | 垂直 | KMM-800L | WIA | 900X900X2400 | |
16号MCT | 垂直 | PRO-3150 | HARTFORD | 800X1600X3100 | |
6.5号MCT | 垂直 | MYNX-650 | 大宇 | 700X650X1300 | |
CNC车床 | PUMA- GT 2600 | 斗山 | |||
CNC车床-80N | 自动 | MAZAK | 1070X3000 | ||
车床 | 通用 | 韩国机床 | Ø900X4000 |
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