반도체 전공정의 핵심공정인
DRY ETCH와 CVD의 주요제품 가공DRY ETCH와 CVD공정 관련 부품 안내
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DRY ETCH 관련 부품
상부전극·하부전극·이중월
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CVD공정 관련 부품
프로세스 챔버·챔버하우징·샤워헤드
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설비명 | 설비TYPE | 모델명 | 제작업체 | 제원( Z×Y×X ) | 비고 |
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MCT 10호기 | Horizontal | KV-90 | 산코 | 1100X1500X1600 | |
MCT 9호기 | Vertical | KMM-800L | 위아 | 900X900X2400 | |
MCT 16호기 | Vertical | PRO-3150 | 하트포드 | 800X1600X3100 | |
MCT 6.5호기 | Vertical | MYNX-650 | 대우 | 700X650X1300 | |
CNC 선반 | PUMA- GT 2600 | 두산 | |||
CNC 선반 – 80N | 자동 | 마작 | 1070X3000 | ||
선반 | 범용 | 한국공작기계 | Ø900X4000 |
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