디스플레이 & 반도체 장비 표면처리 전문 기업
각종 공정 장비에 최적화된 표면처리 기술 적용
- PECVD
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DIFFUSER
- SDC의 주요 공급사
- Protective코팅 적용 (특허 보유)
- E-cleaning 적용 (특허 보유)
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SUSCEPTOR
- SDC의 주요 공급사
- CO 코팅적용 (아인스의 독보적 기술)
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- DRY ETCH
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UPPER
ELECTRODE- Dry Etch공정에서 플라즈마 발생을 위한 전극역할 Glass에 일정하게 분배
- E2 코팅 적용 (특허 보유)
- FOC 코팅적용 (아인스의 고유 기술)
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BOTTOM
ELECTRODE- Dry Etch 공정에서 Glass의 지지 역할
- Glass 표면에 온도를 일정하게 유지
- FOC 코팅 적용 (아인스의 고유 기술)
- NCE 적용 (아인스의 고유 기술)
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- SEMI - CONDUCTOR
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HEATER
- 온도 안정성을 유지하며 고온으로 가열하는 역할
- CO코팅 적용 (아인스의 고유 기술)
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SHOWER
HEAD- LCD의 DIFFUSER와 비슷한 역할
- Chamber 내에 반응기체를 분사하는 모듈
- Protective 코팅 적용 (특허보유)
- E-cleaning 적용 (특허보유)
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ESC
ELECTRODE- 장비 내부의 정전기를 이용해 정전기의 힘만으로 기판과 전극
- 사이에 간격을 일정하게 유지
- E2코팅 적용 (특허븅)
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PROCESS
CHAMBER- Process가 진행되는 진공장비
- Type Ⅲ 코팅 적용 (Lam社 국내코팅 승인)
- UDI Sealing 적용 (특허보유)
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